[发明专利]用于调节两个工具之间的径向间隙的方法、基板的加工装置、具有该装置的匣盒、单元和机器

摘要

在一种用于调节在用于加工所述平的基板(2)的两个工具(16、17)之间的径向间隙(20)的方法中，用于加工基板(2)的加工装置(18)包括‑第一和第二圆柱形旋转加工工具(16、17)，其各自设有两个锥形侧向滚圈(21、22、23、24)，所述两个加工工具被布置成互相配合以加工基板(2)，‑第一和第二侧向轴承(26、27)，所述两个侧向轴承保持旋转(Rs)的第一工具(16)，‑第三和第四侧向轴承(29、31)，所述两个侧向轴承保持旋转(Ri)的所述第二工具(17)，‑用于将所述第一轴承(26)和所述第三轴承(29)紧固在一起以及将所述第二轴承(27)和所述第四轴承紧固在一起的紧固元件(34、37)。所述方法包括由以下组成的步骤‑松开所述紧固元件(34、37)，‑将所述第一轴承(26)推(U)至离开所述第三轴承(29)预定距离(e)，以及将所述第二轴承(27)推(U)至离开所述第四轴承(31)预定距离(e)，‑修正(L)所述滚圈(21、22)中至少一个的侧向位置，‑将所述第一轴承(26)移动(D)至靠近所述第三轴承(29)，并将所述第二轴承(27)移动(D)至靠近所述第四轴承(31)，以及‑重新紧固所述紧固元件(34、37)。

主权项

一种用于调节在两个工具之间存在的径向间隙(20)的方法，其中所述两个工具用于在平的基板(2)的加工装置(18)中加工所述基板(2)，所述方法包括：‑第一圆柱形旋转加工工具(16)和第二圆柱形旋转加工工具(17)，其各自设有两个锥形侧向滚圈(21、22、23、24)，所述第一圆柱形旋转加工工具(16)和所述第二圆柱形旋转加工工具(17)被布置成互相配合以加工所述基板(2)，‑第一侧向轴承(26)和第二侧向轴承(27)，所述两个侧向轴承保持旋转的所述第一圆柱形旋转加工工具(16)，‑第三侧向轴承(29)和第四侧向轴承(31)，所述两个侧向轴承保持旋转的所述第二圆柱形旋转加工工具(17)，‑紧固元件(34、37)，所述紧固元件将所述第一侧向轴承(26)紧固到所述第三侧向轴承(29)以及将所述第二侧向轴承(27)紧固到第四侧向轴承(31)，所述方法包括以下步骤：‑松开所述紧固元件(34、37)，‑将所述第一侧向轴承(26)推至离开所述第三侧向轴承(29)预定距离(e)，以及将所述第二侧向轴承(27)推至离开所述第四侧向轴承(31)预定距离(e)，‑修正所述锥形侧向滚圈(21、22)中至少一个的侧向位置，‑将所述第一侧向轴承(26)移动至靠近所述第三侧向轴承(29)，并将所述第二侧向轴承(27)移动至靠近所述第四侧向轴承(31)，以及‑重新紧固所述紧固元件(34、37)。