[发明专利]包含聚合热酸发生剂的组合物及其方法

摘要

本发明涉及一种新的包含聚合热酸发生剂的含水组合物和将该新的组合物涂覆到光致抗蚀剂图案上，由此在该光致抗蚀剂图案上形成聚合热酸发生剂层的方法。该聚合热酸发生剂包含具有至少一种结构2的重复单元的聚合物：其中R1‑R5独立地选自H和C1‑C6烷基；R6选自未取代的芳基、取代的芳基、烷基(C1‑C8)和氟烷基(C1‑C8)，和W是C2‑C6亚烷基间隔基团。

主权项

1.一种聚合热酸发生剂的含水涂料溶液，所述聚合热酸发生剂能够在光致抗蚀剂图案上形成层，其中所述含水涂料溶液包含具有至少一种结构(2)的重复单元的聚合物：其中R1‑R5独立地选自H和C1‑C6烷基；R6选自芳基、取代的芳基、C1‑C8烷基和C1‑C8氟烷基，和W是C2‑C6亚烷基间隔基团并且进一步地其中所述聚合物包含结构(3)的重复单元，其中R7‑R9独立地选自氢和C1‑C6烷基，A选自单键、O、C(O)、(C＝O)O、C1‑C4亚烷基；X、Y、Z和N形成环结构，进一步地其中X选自C1‑C6亚烷基、不饱和的C1‑C6亚烷基、直接键，Y选自C1‑C6亚烷基、不饱和的C1‑C6亚烷基、直接键，Z选自氧、C(O)和氮，进一步地其中所述含水涂料溶液不含交联化合物，并且进一步地其中所述聚合物具有在5000‑200000g/mol范围的分子量。