[发明专利]图像取得装置以及图像取得装置的聚焦方法

摘要

在本发明所涉及的图像取得装置(M)中，由光程差生成构件(21)而不用进行在第2光路(L2)上的光的分支就能够形成第2光学图像的光程差。因此，为了获得焦点位置的信息而到达必要的第2光路(L2)的光量被抑制并且能够确保以第1摄像装置(18)进行摄像的时候的光量。另外，在图像取得装置(M)中，以试样(S)上的规定部位的光学图像在第2摄像装置(20)的各个像素列(20b)上被曝光的形式使在物镜(15)的视野(V)内的试样(S)的规定部位的移动与滚动读出相同步。在所获得的图像数据中包含与在试样(S)的同一部位上变更物镜(15)的焦点位置的时候相等价的对比度信息，并且根据该信息能够迅速而且高精度地计算出对准焦点信息。

主权项

1.一种图像取得装置，其特征在于：具备：工作台，载置试样；光源，朝着所述试样照射光；导光光学系统，包含以与所述工作台上的所述试样相对的形式配置的物镜、以及将所述试样的光学图像分支成图像取得用的第1光路以及焦点控制用的第2光路的光分支构件；视野驱动构件，使相对于所述试样的所述物镜的视野位置移动；第1摄像构件，取得由被分支成所述第1光路的第1光学图像构成的第1图像；第2摄像构件，取得由被分支成所述第2光路的第2光学图像构成的第2图像；对准焦点计算构件，解析所述第2图像并根据其解析结果计算出所述试样的对准焦点信息；动作控制构件，控制所述视野驱动构件以及所述第2摄像构件的动作；以及光程差生成构件，被配置于所述第2光路并沿着第2摄像构件的摄像面的面内方向使光程差产生于所述第2光学图像，所述第2摄像构件具备具有多列像素列并能够滚动读出的二维摄像元件，所述动作控制构件以所述试样上的规定部位的光学图像在所述二维摄像元件的各个像素列上被曝光的形式，使根据所述视野驱动构件的在所述物镜的视野内的所述试样的规定部位的移动与所述二维摄像元件的滚动读出同步。