[发明专利]纳米粒子区分装置在审
| 申请号： | 201480018345.8 | 申请日： | 2014-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN105143499A | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 内山直树 | 申请（专利权）人： | 株式会社渥美精机 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 刘晓迪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 纳米粒子区分装置(1)具有：串联排列且相互被分隔壁(5)分隔开的多个室(9)；配设有应蒸发的材料(4)的生成室(2)；配设有用于将由所述材料(4)生成的纳米粒子(8a～8c)成膜的基板(7)的多个成膜室(3a～3c)；为了将相邻的所述多个室(9)相互连通而分别贯通所述分隔壁(5)设置的多个连通管(6)；与所述生成室(2)连通而用于导入冷却气体的气体导入管(10)；与所述多个室(9)中的在最远离所述生成室(2)的位置配置的室(9)且作为所述成膜室(3c)的高真空室(13)连通而用于抽真空的真空配管(14)。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 粒子 区分 装置 | ||
【主权项】：
一种纳米粒子区分装置，其特征在于，包括：多个室，其串联排列，相互由分隔壁分隔开；生成室，其配设有应蒸发的材料，并且配置在所述多个室中的一端部；多个成膜室，其配设有用于将由所述材料生成的纳米粒子成膜的基板，为所述多个室中的除了所述生成室之外的室；多个连通管，其为了将相邻的所述多个室相互连通而分别贯通所述分隔壁设置；气体导入管，其与所述生成室连通，用于将冷却气体导入；真空配管，其与所述多个室中的在最远离所述生成室的位置配置的室即高真空室连通，用于抽真空。
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