[发明专利]用于支撑研磨盘的衬垫有效
| 申请号： | 201480017998.4 | 申请日： | 2014-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN105189044B | 公开（公告）日： | 2017-12-15 |
| 发明（设计）人： | 佐藤津纪夫 | 申请（专利权）人： | 3M创新有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/26 | 分类号： | B24B37/26;B24B37/16 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 顾红霞,彭会 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于通过与研磨盘一起固定到研磨机的轴上来支撑研磨盘的衬垫，所述衬垫包括与研磨盘相对的支撑表面。在径向方向上，支撑表面的外边缘位于研磨盘的外边缘的向内的位置处。支撑表面包括锥形部分，所述锥形部分随着接近支撑表面的外边缘而向远离研磨盘的方向倾斜。研磨盘未固定到锥形部分上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 支撑 研磨 衬垫 | ||
【主权项】：
一种用于通过与柔性研磨盘一起固定到研磨机的轴上来支撑所述柔性研磨盘的衬垫，所述衬垫包括：与所述柔性研磨盘相对的支撑表面，在径向方向上，所述支撑表面的外边缘位于所述柔性研磨盘的外边缘的向内的位置处，所述支撑表面包括锥形部分，所述锥形部分随着接近所述支撑表面的所述外边缘而向远离所述柔性研磨盘的方向倾斜，以及所述柔性研磨盘未固定到所述锥形部分上。
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