[发明专利]用于支撑研磨盘的衬垫

权利要求书

1.一种用于通过与柔性研磨盘一起固定到研磨机的轴上来支撑所述柔性研磨盘的衬垫，所述衬垫包括：

与所述柔性研磨盘相对的支撑表面，

在径向方向上，所述支撑表面的外边缘位于所述柔性研磨盘的外边缘的向内的位置处，

所述支撑表面包括锥形部分，所述锥形部分随着接近所述支撑表面的所述外边缘而向远离所述柔性研磨盘的方向倾斜，以及

所述柔性研磨盘未固定到所述锥形部分上。

2.根据权利要求1所述的衬垫，其中在所述锥形部分上形成有朝所述柔性研磨盘侧凸出的弯曲部。

3.根据权利要求1所述的衬垫，其中沿所述径向方向所述支撑表面的横截面具有V形的轮廓。

4.根据权利要求1所述的衬垫，其中在除所述锥形部分之外的区域内设置有多个肋形件。

5.根据权利要求4所述的衬垫，其中所述多个肋形件沿径向设置在与所述支撑表面相背对的一侧上的面上。