[发明专利]微粒测定方法及微粒测定系统、以及超纯水制造系统无效
| 申请号： | 201480017748.0 | 申请日： | 2014-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN105051519A | 公开（公告）日： | 2015-11-11 |
| 发明（设计）人： | 田中洋一 | 申请（专利权）人： | 栗田工业株式会社 |
| 主分类号： | G01N15/06 | 分类号： | G01N15/06;C02F1/00;G01N1/00;G06M11/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 高龙鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种在测定试样水中的微粒的计量部的测定结果出现异常的状况下，也可以及时地捕获试样水中的微粒的技术。本发明提供一种微粒测定方法，其中，包括使对试样水中的微粒进行测定的计量部、和过滤所述试样水并捕获直接镜检法的分析用的所述微粒的过滤部一同运转，从而在所述计量部的测定结果出现异常时也继续过滤所述试样水的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 微粒 测定 方法 系统 以及 超纯水 制造 | ||
【主权项】：
一种微粒测定方法，其中，包括使对试样水中的微粒进行测定的计量部、和过滤所述试样水并捕获直接镜检法的分析用的所述微粒的过滤部一同运转，从而在所述计量部的测定结果出现异常时也继续过滤所述试样水的工序。
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