[发明专利]微粒测定方法及微粒测定系统、以及超纯水制造系统

说明书

技术领域

本发明涉及在试样水中的微粒的测定中使用的微粒测定方法、及微粒测定系统。

背景技术

目前，在半导体制造领域及药品制造领域等各种工业领域普遍使用了纯水(包括超纯水)。对于在工业领域使用的纯水的水质的要求逐年提高，对于一次纯水制造装置或超纯水制造设备等也进行着对要求水质的维持状况进行确认的检查及管理。在这类的检查及管理中，作为水质管理项目之一，可以列举纯水1mL中含有的微粒的数量。

就纯水中的微粒的管理方法而言，通常，作为日常的微粒管理，用在线式的微粒计数器进行着纯水中的微粒数的测定及监控。例如，专利文献1公开了具有计量微粒数的微粒仪、计量TOC(总有机物碳量)值的TOC仪、及计量比电阻值的比电阻仪等的超纯水制造装置。

并且，作为测定超纯水中的微粒数的方法及装置，专利文献2中记载了用过滤器过滤超纯水，用显微镜对附着在该过滤器上的微粒数进行计数的方法及装置。该微粒数的测定方法被称为直接镜检法，通常，用于在定期的检查时或异常时等进行微粒的详细的分析。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平5-138196号公报

专利文献2：日本特开平10-63810号公报

发明内容

发明要解决的问题

就在线式的微粒计数器而言，具有可以简便地实时测定纯水中的微粒的优点，借助该优点，可以进行所谓的监控纯水中的微粒数的日常的微粒管理。然而，微粒的粒径越小，用在线式的微粒计数器进行实时的测定就越难，难以满足对于渐已提高的要求水质的测定。

直接镜检法可以进行详细的分析，对于要求水质可以进行满意的测定，但无法进行实时的测定，分析时需要时间。因此，如上所述，通常认为直接镜检法仅限于在定期检查时、或确认到用上述微粒仪测量到规定数量以上的微粒等异常情况时使用。

然而，异常情况得到确认后，如果为了直接镜检法而进行过滤，会出现在发生微粒振荡(紊乱)的期间无法及时地捕获到微粒的可能性。这是由于在过滤膜的更换操作时、或定期检查的定期检查时和定期检查时之间，微粒数产生振荡时，因时间损耗导致微粒的捕获量变少的缘故。并且，为了判断振荡是由微粒造成的或是单纯的微粒计量仪的暂时异常，通常，可以将发生振荡但立刻恢复的情况判断为无异常，从而在实际发生异常时会产生错过捕获的时机的问题。

因此，本发明的主要目的是提供对试样水中的微粒进行测定的计量部的测定结果出现异常时，也可以及时地捕获试样水中的微粒的微粒测定方法及微粒测定系统。

解决问题的方法

本发明提供一种微粒测定方法，其中，包括使对试样水中的微粒进行测定的计量部、和过滤所述试样水并捕获直接镜检法的分析用的所述微粒的过滤部一同运转，从而在所述计量部的测定结果出现异常时也继续过滤所述试样水的工序。

作为本发明的微粒测定方法，使计量部和直接镜检法的分析用的过滤部一同运转，在计量部的测定结果出现异常时也继续进行试样水的过滤，从而在异常时也可以及时地捕获微粒。

本发明的微粒测定方法中，所述计量部的测定结果出现异常时也使所述过滤部继续运转，从而可以进行继续过滤所述试样水的工序。

并且，本发明的微粒测定方法中，所述过滤部具有设置成可以切换所述试样水的供给的第1过滤部和第2过滤部，在所述计量部和所述第1过滤部一同运转的状态，所述计量部的测定结果出现异常时，可以通过停止所述第1过滤部的同时、使所述第2过滤部开始运转来进行继续过滤所述试样水的工序。

本发明的微粒测定方法中，在所述异常解除后，可以使所述计量部的测定结果出现异常后继续进行过滤的过滤部停止。进而，可以对由所述计量部的测定结果出现异常后继续进行过滤的过滤部捕获到的微粒进行分析。就此时的微粒的分析而言，可以通过用光学显微镜或扫描电子显微镜进行测定的、所谓的直接镜检法来进行。

并且，本发明提供一种微粒测定系统，其中，具有对试样水中的微粒进行测定的计量部，过滤所述试样水并捕获直接镜检法的分析用的所述微粒的过滤部，及在所述计量部和所述过滤部一同运转的状态，所述计量部的测定结果出现异常时，控制所述试样水的过滤而使其继续进行的控制部。

在所述计量部的测定结果出现异常时，所述控制部也可以使所述过滤部继续运转。

所述过滤部具有设置成可以切换所述试样水的供给的第1过滤部和第2过滤部，在所述计量部和所述第1过滤部一同运转的状态，所述计量部的测定结果出现异常时，所述控制部可以停止所述第1过滤部的同时使所述第2过滤部开始运转。