[发明专利]光学系统中的焦点和其他特征的测量有效
| 申请号： | 201480016953.5 | 申请日： | 2014-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN105103027B | 公开（公告）日： | 2018-02-23 |
| 发明（设计）人： | 马蒂亚斯·马卢克;彼得·伦琴 | 申请（专利权）人： | 赫普塔冈微光有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/04 | 分类号： | G02B7/04;G02B7/02;G02B7/28;G01J3/28;G02C3/02;G01N21/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 徐金国,吴启超 |
| 地址： | 新加坡新*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了识别光学系统的焦点的位置，在一些实施方案中，所述识别光学系统的焦点的位置包括使用传感器系统来检测通过所述光学系统的光，并且基于所述传感器系统的焦点的位置，确定所述光学系统的焦点的位置，所述传感器系统的所述焦点的所述位置基本匹配所述光学系统的所述焦点的所述位置。 | ||
| 搜索关键词： | 光学系统 中的 焦点 其他 特征 测量 | ||
【主权项】：
一种识别光学系统的焦点的位置的方法，所述方法包括：使用包括多色共焦传感器的传感器系统来检测通过所述光学系统的光，其中使用所述传感器系统包括：导引来自所述传感器系统的不同波长的光穿过所述光学系统；以及在所述多色共焦传感器中检测通过所述光学系统而反射回的光；所述方法还包括基于由所述多色共焦传感器检测到的光的波长，根据所述传感器系统的焦点的位置确定所述光学系统的所述焦点的所述位置，所述传感器系统的所述焦点的所述位置基本匹配所述光学系统的所述焦点的所述位置。
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