[发明专利]真空阀

摘要

本发明涉及一种真空阀，该真空阀具有至少一个活塞-缸机构(3)，用于在第一封闭件位置(C1)、第二封闭件位置(C2)和两者间的中间封闭件位置(C3)之间调节第一封闭件(1a)。与第一封闭件(1a)机械连接的活塞-缸机构(3)具有缸单元(4)和活塞单元(7)。第一密封件(10a；11a)和第二密封件(10b；11b)可彼此无关地相对于缸单元(4)和活塞单元(7)轴向移动。缸单元(4)的第一轴向止挡(15a)和活塞单元(7)的第三轴向止挡(16a)如此彼此相对布置，即在中间封闭件位置(C3)上，第一封闭件(10a；11a)朝向第二压力腔(5b)的轴向可移动性共同由第一轴向止挡(15a)和第三轴向止挡(16a)来限制。缸单元(4)的第二轴向止挡(15b)和活塞单元(7)的第四轴向止挡(16b)如此彼此相对布置，即在中间封闭件位置(C3)上，第二封闭件(10b；11b)朝向第一压力腔(5a)的轴向可移动性共同由第二轴向止挡(15b)和第四轴向止挡(16b)来限制。

主权项

一种真空阀，该真空阀具有第一封闭件(1a)和用于调节所述第一封闭件(1a)的第一驱动装置(2)，所述第一驱动装置具有至少一个活塞‑缸机构(3)，其中所述至少一个活塞‑缸机构(3)具有：·缸单元(4)，该缸单元具有缸内腔(5a,5b,5c)和内周面(6a,6b)，·活塞单元(7)，该活塞单元具有外周面(8a,8b)且能沿活塞几何轴线(9)相对于所述缸单元(4)在所述缸内腔(5a,5b,5c)中线性移动，以及·密封单元(10a,10b；11a,11b)，该密封单元密封地设置在所述内周面(6a,6b)和外周面(8a,8b)之间并且与所述活塞单元(7)一起将所述缸内腔(5a,5b,5c)划分为气密的第一压力腔(5a)和与所述第一压力腔(5a)气密分隔开的气密的第二压力腔(5b)，其中，所述至少一个活塞‑缸机构(3)如此与所述第一封闭件(1a)机械连接，即所述第一封闭件(1a)能通过在所述第一压力腔(5a)和所述第二压力腔(5b)之间的压差变化而在以下位置之间移动：·第一封闭件位置(C1)，在所述第一封闭件位置上所述缸单元(4)和所述活塞单元(7)彼此相对地被相互定位在第一相对位置(P1)上，和·第二封闭件位置(C2)，在所述第二封闭件位置上所述缸单元(4)和所述活塞单元(7)彼此相对地被相互定位在第二相对位置(P2)上，其特征在于，·所述密封单元由第一密封件(10a；11a)和第二密封件(10b；11b)构成，其中这些密封件(10a,10b；11a,11b)‑能彼此无关地相对于所述缸单元(4)和所述活塞单元(7)沿所述活塞轴线(9)轴向移动，‑分别具有气密贴靠在所述内周面(6a,6b)上且相对于所述内周面(6a,6b)能轴向移动的外密封面(13)，并且‑分别具有气密贴靠在所述外周面(8a,8b)上且相对于所述外周面(8a,8b)能轴向移动的内密封面(14)，·所述缸单元(4)具有第一轴向止挡(15a)，所述第一轴向止挡将所述第一密封件(10a；11a)的相对于所述缸单元(4)的轴向可移动性朝向所述第二压力腔(5b)地限制到所述内周面的设置在所述第一压力腔(5a)侧的第一部段(6a)，·所述缸单元(4)具有第二轴向止挡(15b)，所述第二轴向止挡将所述第二密封件(10b；11b)的相对于所述缸单元(4)的轴向可移动性朝向所述第一压力腔(5a)地限制到所述内周面的设置在所述第二压力腔(5b)侧的第二部段(6b)，·所述活塞单元(7)具有第三轴向止挡(16a)，所述第三轴向止挡将所述第一密封件(10a；11a)的相对于所述活塞单元(7)的轴向可移动性朝向所述第二压力腔(5b)地限制到所述外周面的设置在所述第一压力腔(5a)侧的第一部段(8a)，·所述活塞单元(7)具有第四轴向止挡(16b)，所述第四轴向止挡将所述第二密封件(10b；11b)的相对于所述活塞单元(7)的轴向可移动性朝向所述第一压力腔(5a)地限制到所述外周面的设置在所述第二压力腔(5b)侧的第二部段(8b)，·所述第一轴向止挡(15a)和所述第三轴向止挡(16a)如此彼此相对布置，即在所述缸单元(4)和活塞单元(7)相对于彼此的中间相对位置(P3)上，该中间相对位置(P3)位于所述第一相对位置(P1)和第二相对位置(P2)之间且对应于中间封闭件位置(C3)的，所述第一密封件(10a；11a)的朝向所述第二压力腔(5b)的轴向可移动性由所述第一轴向止挡(15a)和所述第三轴向止挡(16a)共同来限制，·并且所述第二轴向止挡(15b)和所述第四轴向止挡(16b)如此彼此相对布置，即在所述中间相对位置(P3)上，所述第二密封件(10b；11b)的朝向所述第一压力腔(5a)的轴向可移动性由所述第二轴向止挡(15b)和所述第四轴向止挡(16b)共同来限制。