[发明专利]具有窄间隙静电致动器的显示设备

摘要

本发明提供用于将尖端间隙调整特征TGAF并入快门组合件的致动器中的系统、方法和设备。所述TGAF在所述快门组合件形成于模具上方期间被并入所述致动器的驱动梁中。所述TGAF经配置以使得其产生机械应力或应力梯度。当所述快门组合件从所述模具释放时，所述TGAF中的所述应力或应力梯度使所述驱动梁弯曲，以使得所述驱动梁与所述致动器的负载梁之间的尖端间隙减小。所述减小的尖端间隙继而减小致动所述快门组合件所需的致动电压。

主权项

一种显示设备，其包括：衬底；机电系统EMS静电致动器，其机械地耦合到所述衬底并且经配置以在平行于所述衬底的表面的方向上移动光调制器，所述致动器包括：负载梁电极，其具有机械地耦合到所述光调制器的第一端和机械地耦合到负载梁锚的第二端，所述负载梁锚机械地耦合到所述衬底；以及驱动梁电极，其具有：第一部分，其定位为邻近所述负载梁，所述第一部分的第一端机械地耦合到驱动梁锚，所述驱动梁锚机械地耦合到所述衬底；第二部分，其相对于所述负载梁定位在所述第一部分后方，所述第二部分的第一端机械地耦合到所述驱动梁锚；以及端部分，其将所述第一部分的第二端连接到所述第二部分的第二端，其中所述第二部分具有限定多个通道的多个U形片段，其中所述多个通道内的梁区域具有在平行于所述衬底的所述表面的方向上测量的厚度，所述厚度小于形成在所述通道外侧的外梁区域的厚度，并且其中所述通道具有在3微米与6微米之间的宽度。