[发明专利]用于使用平面内掠入射衍射进行表面标测的方法和装置有效
| 申请号： | 201480012351.2 | 申请日： | 2014-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN105008904B | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | J·金克 | 申请（专利权）人： | 布鲁克AXS公司 |
| 主分类号： | G01N23/201 | 分类号： | G01N23/201 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 郑建晖;杨勇 |
| 地址： | 美国威*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种通过位置敏感检测器使用平面内掠入射衍射检查晶体样本的表面的装置。x射线源照射样本的一个延伸区域，并且对于晶体的具有适当晶格取向的区段，产生一个细长的衍射信号。然后可以改变样本和x射线束的相对位置以照射样本的不同区域，使得衍射信号对应于这些其他区域。通过扫描整个样本，可以生成样本表面的空间走向。所述系统可以用来定位样本表面上的晶体边界、缺陷或者衰减材料的存在。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 使用 平面 入射 衍射 进行 表面 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种使用平面内掠入射衍射来检查晶体样本的表面的装置，所述装置包括：一个x射线源，生成以相对于所述样本表面成一个角度入射在所述样本上的x射线束，该角度导致从所述样本的具有特定取向的晶体结构的区段生成平面内掠入射x射线衍射信号，所述x射线束同时照射延伸所述样本在第一方向上的大体整个长度的一个样本区域；一个位置敏感x射线检测器，接收所述x射线衍射信号，所述衍射信号具有与所述样本的被照射的区域相对应的空间走向；以及一个移置机构，用于改变所述x射线束和所述样本的相对位置，以改变所述样本的被所述x射线束照射的区域。
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