[实用新型]一种可调真空压力的电感耦合等离子体质谱仪有效
| 申请号： | 201420872348.5 | 申请日： | 2014-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN204464235U | 公开（公告）日： | 2015-07-08 |
| 发明（设计）人： | 梁炎;刘立鹏;郑毅;李刚强;陈斌;杨凯;滕恩江 | 申请（专利权）人： | 聚光科技（杭州）股份有限公司;杭州谱育科技发展有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/26 | 分类号： | H01J49/26;G01N27/62 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310052 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种可调真空压力的电感耦合等离子体质谱仪，包括：第一真空室、第二真空室、第三真空室、第四真空室；所述电感耦合等离子体质谱仪进一步包括：第一调谐部件，所述第一调谐部件为泵，与各级真空室相连，调节所述各级真空室的压力；第二调谐部件，所述第二调谐部件使各级真空室相互连通，调节所述各级真空室之间的压力。本实用新型具有优化降低空间电荷效应，改善抗质谱干扰和非质谱干扰效果，优化离子传输等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可调 真空 压力 电感 耦合 等离子体 质谱仪 | ||
【主权项】：
一种可调真空压力的电感耦合等离子体质谱仪，包括：第一真空室，所述第一真空室为接口装置真空室，即采样锥与截取锥的锥间真空室；第二真空室，所述第二真空室连接所述第一真空室和第三真空室；第三真空室，所述第三真空室为传输杆真空室；第四真空室，所述第四真空室为质量分析器真空室；其特征在于：所述电感耦合等离子体质谱仪进一步包括：第一调谐部件，所述第一调谐部件为泵，与各级真空室相连，调节所述各级真空室的压力；第二调谐部件，所述第二调谐部件使各级真空室相互连通，调节所述各级真空室之间的压力。
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