[实用新型]一种可调真空压力的电感耦合等离子体质谱仪

权利要求书

1.一种可调真空压力的电感耦合等离子体质谱仪，包括：

第一真空室，所述第一真空室为接口装置真空室，即采样锥与截取锥的锥间真空室；

第二真空室，所述第二真空室连接所述第一真空室和第三真空室；

第三真空室，所述第三真空室为传输杆真空室；

第四真空室，所述第四真空室为质量分析器真空室；

其特征在于：所述电感耦合等离子体质谱仪进一步包括：

第一调谐部件，所述第一调谐部件为泵，与各级真空室相连，调节所述各级真空室的压力；

第二调谐部件，所述第二调谐部件使各级真空室相互连通，调节所述各级真空室之间的压力。

2.根据权利要求1所述的电感耦合等离子体质谱仪，其特征在于：所述第一调谐部件可以是机械泵、涡轮分子泵或油扩散泵。

3.根据权利要求1所述的电感耦合等离子体质谱仪，其特征在于：所述第二调谐部件为比例阀。

4.根据权利要求1所述的电感耦合等离子体质谱仪，其特征在于：所述电感耦合等离子体质谱仪进一步包括：

第三调谐部件，所述第三调谐部件连通气瓶，引入压力调节气体。

5.根据权利要求4所述的电感耦合等离子体质谱仪，其特征在于：所述调节气体是氦气或氩气。