[实用新型]一种蒸镀装置有效
| 申请号： | 201420871914.0 | 申请日： | 2014-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN204417579U | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | 张丽 | 申请（专利权）人： | 上海天马有机发光显示技术有限公司;天马微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 201201 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种蒸镀装置，包括：坩埚，挡板，位于所述坩埚的外围区域；其中，所述挡板朝向所述坩埚的一侧，设有容置空间。综上，采用本实用新型的蒸镀装置，可提高蒸镀时的原料回收率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装置 | ||
【主权项】：
一种蒸镀装置，其特征在于，包含：坩埚，挡板，位于所述坩埚的外围区域；其中，所述挡板朝向所述坩埚的一侧，设有容置空间。
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