[实用新型]一种用于对MPDP电极检查修复的系统有效
申请号: | 201420839057.6 | 申请日: | 2014-12-26 |
公开(公告)号: | CN204330615U | 公开(公告)日: | 2015-05-13 |
发明(设计)人: | 廖民安;付元涛;王新营;袁红梅 | 申请(专利权)人: | 东旭集团有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;H01J9/02 |
代理公司: | 石家庄众志华清知识产权事务所(特殊普通合伙) 13123 | 代理人: | 王苑祥 |
地址: | 050000 河北省石*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于对MPDP电极检查修复的系统,包括机架、设置在机架上的缺陷检测机构和控制机构,在机架的侧面设有玻璃基板的吸盘式固定装置、上方固定有与所述玻璃基板宽度方向平行的导向滑轨,所述缺陷检测机构借助直线驱动机构沿所述导向滑轨运动、形成对玻璃基板边面上MPDP电极逐点检测的结构;在缺陷检测机构的下方还设有同步运动的修复平台。上述技术方案玻璃基板侧向、竖直放置,操作方便,检测误差小,可靠性高。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 mpdp 电极 检查 修复 系统 | ||
【主权项】:
一种用于对MPDP电极检查修复的系统,包括机架(6)、设置在机架(6)上的缺陷检测机构(1)和控制机构,其特征在于在机架(6)的侧面设有玻璃基板(4)的吸盘式固定装置、上方固定有与所述玻璃基板(4)宽度方向平行的导向滑轨(8),所述缺陷检测机构(1)借助直线驱动机构沿所述导向滑轨(8)运动、形成对玻璃基板(4)边面上MPDP电极逐点检测的结构;在缺陷检测机构(1)的下方还设有同步运动的修复平台(9)。
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