[实用新型]一种新型结构的翻膜机有效
| 申请号： | 201420801609.4 | 申请日： | 2014-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN204230281U | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 朱燕;李有群;徐兴庆 | 申请（专利权）人： | 马鞍山太时芯光科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 蒋海军 |
| 地址： | 243000 安徽省马鞍山市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型结构的翻膜机，属于半导体器件制造领域。本实用新型的翻膜机包括加热装置固定板、气缸、加热工作台、翻膜机底板和加热装置，其中加热装置包括法兰、连接盖板和加热盘，连接盖板固定在加热盘上，连接盖板为圆筒状，其纵截面呈两个对称的“7”型；连接盖板与加热装置固定板的法兰之间连接通过一个连接杆连接。本实用新型的加热盘能活动，在加热盘或加热工作台受磨损后能自动调节加热盘的水平度，仍能保证加热盘与芯片充分接触，大大提高了翻膜机的使用寿命，降低芯片生产成本。本实用新型具有结构简单、设计合理、易于制造的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 结构 翻膜机 | ||
【主权项】：
一种新型结构的翻膜机，包括加热装置固定板(1)、气缸(2)、加热工作台(3)、翻膜机底板(4)和加热装置(5)，其特征在于：所述的加热装置(5)包括法兰(501)、连接盖板(502)和加热盘(503)，所述的连接盖板(502)固定在加热盘(503)上，连接盖板(502)为圆筒状，其纵截面呈两个对称的“7”型；所述的连接盖板(502)与加热装置固定板(1)的法兰(501)之间连接通过一个连接杆连接。
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