[实用新型]单激励超声椭圆振动微细加工工作平台

摘要

本实用新型公开了一种单激励超声椭圆振动微细加工工作平台，包括隔振平台、横向移动工作平台、纵向移动工作平台、壳体单元、置于壳体单元内的超声振动换能器、超声波电源、椭圆振动模态转换器和设置在椭圆振动模态转换器前端的小型工作平台。所述的壳体单元包括前挡板、套筒和后挡板；所述的超声振动换能器包括螺栓及依次套设在螺栓上的后盖板、压电陶瓷片、电极片和前盖板，后盖板和前盖板通过螺栓将后盖板、压电陶瓷片、电极片和前盖板联接压紧；所述的椭圆振动模态转换器设置在前盖板的前端，为斜楔形结构，该椭圆振动模态转换器可以将超声振动换能器产生的纵向超声振动转换为椭圆振动模态转换器末端和小型工作平台的纵弯复合超声椭圆振动,进而驱动小型工作台上的工件进行超声椭圆振动。

主权项

单激励超声椭圆振动微细加工工作平台，其特征在于：该椭圆振动加工平台包括隔振平台、通过螺栓联接在隔振平台上方的横向移动工作平台、通过螺栓联接在横向移动工作平台上方的纵向移动工作平台、壳体单元、置于壳体单元内的超声振动换能器、椭圆振动模态转换器、设置在椭圆振动模态转换器前端的小型工作平台和超声波电源；在椭圆振动模态转换器末端下方设置有辅助支撑，在椭圆振动模态转换器末端和辅助支撑之间设置有滚动支撑体；所述的壳体单元通过螺栓联接在纵向移动工作平台的上方，壳体单元包括前挡板、套筒和后挡板；所述的超声振动换能器外轮廓为圆柱形，其包括螺栓及依次套设在螺栓上的后盖板、压电陶瓷片、电极片和前盖板，前盖板上设置有与壳体单元联接用的法兰盘，后盖板和前盖板通过螺栓将后盖板、压电陶瓷片、电极片和前盖板联接压紧；所述的椭圆振动模态转换器设置在前盖板的前端，所述的椭圆振动模态转换器为斜楔形结构，斜楔形结构椭圆振动模态转换器原整体为长方体，沿超声振动换能器轴线方向其一侧被切割掉一部分后形成斜楔形结构，形成斜楔形的两个侧面中，未被切割的一侧面平行于超声振动换能器轴线，被切割过的另一侧面与超声振动换能器轴线成3‑30度夹角；在椭圆振动模态转换器与超声换能器前盖板的联接处设有过渡圆弧。