[实用新型]一种LED芯片生产过程中MOCVD废气的资源化处理工艺系统有效
| 申请号： | 201420755333.0 | 申请日： | 2014-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN204337983U | 公开（公告）日： | 2015-05-20 |
| 发明（设计）人： | 刘晨明;李志强;陶莉 | 申请（专利权）人： | 北京赛科康仑环保科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/18 | 分类号： | B01D53/18;C01C1/12 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 100083 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种LED芯片生产过程中MOCVD废气的资源化处理工艺系统，该系统包括脱氢塔、换热器、氨水提浓塔、氨气纯化塔和氨气净化器，脱氢塔的液体出口通过换热器与氨水提浓塔进料口相连，氨水提浓塔与氨气纯化塔相连；氨气纯化塔与氨气净化器相连；本工艺系统针对MOCVD过程中排放的含氨含氢废气采用吸收、提浓、纯化、净化等工艺，实现了氨气的高效回收，回收率达99％以上，整个工艺过程无二次污染产生，真正实现了废气的资源化循环回收利用和废水零排放，获得的高纯度液氨市场价值高，具有良好的市场前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 led 芯片 生产过程 mocvd 废气 资源 处理 工艺 系统 | ||
【主权项】：
一种LED芯片生产过程中MOCVD废气的资源化处理工艺系统，其特征在于，所述系统包括脱氢塔、换热器、氨水提浓塔、氨气纯化塔和氨气净化器；所述脱氢塔的液体出口通过换热器与氨水提浓塔进料口相连；所述氨水提浓塔与氨气纯化塔相连；所述氨气纯化塔与氨气净化器相连。
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