[实用新型]用于光罩品质检验的暗室有效
| 申请号： | 201420707913.2 | 申请日： | 2014-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN204266627U | 公开（公告）日： | 2015-04-15 |
| 发明（设计）人： | 杜武兵;林伟 | 申请（专利权）人： | 深圳市路维光电股份有限公司 |
| 主分类号： | E04H1/12 | 分类号： | E04H1/12;G01N21/01 |
| 代理公司： | 深圳市维邦知识产权事务所 44269 | 代理人： | 黄莉 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种用于光罩品质检验的暗室，所述暗室为可容纳工作人员在其内部进行光罩品质检验的封闭空间，由立体框架和固设于所述立体框架上的黑色块状壁面组成，所述暗室的一侧壁开设一门框并在所述门框上铰接有暗室门，所述暗室内部设有供工作人员进行检视的可调式绿光灯。本实用新型实施例通过采用由立体框架和固设于所述立体框架上的黑色块状壁面组成的暗室，并在暗室内设置可调式滤光灯，从而达到了环境质量高，光线不受外界影响，安全、方便且高效的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 品质 检验 暗室 | ||
【主权项】：
一种用于光罩品质检验的暗室，其特征在于，所述暗室为可容纳工作人员在其内部进行光罩品质检验的封闭空间，由立体框架和固设于所述立体框架上的黑色块状壁面组成，所述暗室的一侧壁开设一门框并在所述门框上铰接有暗室门，所述暗室内部设有供工作人员进行检视的可调式绿光灯。
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