[实用新型]用于光罩品质检验的暗室

说明书

技术领域

本实用新型涉及光罩制作领域，尤其涉及一种用于光罩品质检验的暗室。

背景技术

近年来，随着世界范围内面板产业的迅速发展，对大尺寸高精度的TFT、CF及普通面板的需求量也逐年的上升，与之对应的光罩(俗称Mask)的需求量也在日益增加，同时更大尺寸及更高精度的面板也对Mask的制作工艺提出了更高的要求。尤其是Mask在制程及机器检查完成后，需要工作人员在强光灯下进行目视检查。现有目视检查通常由1名或多名工作人员完成，工作人员佩戴无尘手套后双手握持Mask，在强光灯下肉眼检查外观、脏污、缺陷等项目。

然而，上述目视检查存在很多缺陷：（1）该检验通常要在Class1000的无尘环境中进行，环境质量的好坏对检查的效果有着很大的影响；（2）由于强光灯置于车间内，车间内的白光对强光灯的光强有着很大的影响，对于10μm以下的表面缺陷不易观察，而微小缺陷的存在对客户使用Mask有致命影响，同时周围环境的过亮以及强光灯本身对Mask表面的反光会严重影响检验人员的视觉判断；（3）强光灯亮度不易调节，且长时间在强光灯下工作对人眼有一定的伤害。

实用新型内容

本实用新型实施例所要解决的技术问题在于，提供一种环境质量高，光线不受外界影响，安全、方便且高效的用于光罩品质检验的暗室。

为了解决上述技术问题，本实用新型实施例提出了一种用于光罩品质检验的暗室，所述暗室为可容纳工作人员在其内部进行光罩品质检验的封闭空间，由立体框架和固设于所述立体框架上的黑色块状壁面组成，所述暗室的一侧壁开设一门框并在所述门框上铰接有暗室门，所述暗室内部设有供工作人员进行检视的可调式绿光灯。

进一步地，所述暗室的顶壁设有包括两级过滤网的过滤送风装置。

进一步地，所述暗室内部还设有可供工作人员进行检视操作的操作台。

进一步地，所述立体框架由空心管材搭建而成，所述暗室的侧壁采用防火阻燃的布料，并采用铝制薄片和螺丝钉将所述布料固定于立体框架上。

进一步地，所述立体框架的底部下方设有多个轮架和与所述轮架匹配的轮子。

进一步地，所述立体框架的底部下方还设有多个调节支座。

本实用新型实施例的用于光罩品质检验的暗室的有益效果是：通过采用由立体框架和固设于所述立体框架上的黑色块状壁面组成的暗室，并在暗室内设置可调式滤光灯，从而达到了目视检查环境质量高，光线不受外界影响，安全、方便且高效的技术效果。

附图说明

图1是本实用新型实施例的用于光罩品质检验的暗室的透视结构示意图。

图2是图1所示暗室的另一角度的透视图。

图3是图1所示暗室的俯视图。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互结合，下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。

请参考图1至图3，本实用新型实施例提供了一种用于光罩品质检验的暗室，所述暗室为可容纳工作人员在其内部进行光罩品质检验的封闭空间，由立体框架10和固设于所述立体框架10上的黑色块状壁面组成，所述暗室的一侧壁开设一门框并在所述门框上铰接有暗室门20，所述暗室内部设有供工作人员进行检视的可调式绿光灯30。在暗室内使用绿光灯30，该绿光灯30具有操作简单、易使用、照射面积广、效果好、对人体无害、对眼睛损伤小的优点，可以清晰明确判断Mask表面各种缺陷，尤其方便确认10μm以下的伤痕和微粒子等表面缺陷，并且绿光灯30的光源部可以分离、亮度可调，可以根据Mask的大小及暗室空间位置等任意摆放。

所述立体框架10由空心管材搭建而成，所述暗室的侧壁采用防火阻燃的布料，并采用铝制薄片和螺丝钉将所述布料固定于立体框架10上。其中，所示管材优选为空心钢管或铝管。暗室的室内面积可依需设定，一般设为5平方米至10平方米，本实施方式中，立体框架10的长宽高分别为3m、3m和3m。

所述暗室的顶壁设有包括两级过滤网的过滤送风装置40。具体地，暗室的顶壁安装风机过滤机，并设有初、高效两级过滤网。风机从顶部将空气吸入并经初、高效过滤器过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以预定的风速匀速送出，内部空气通过底部缝隙流出，进而既提高了暗室内的洁净度级别，营造了黑暗环境，方便品质检验，也无需改变车间布局及对整个车间进行环境等级的升级改造(如由Class1000改造为Class 100等)，大大降低了造价成本。

所述暗室内部还设有可供工作人员进行检视操作的操作台（图未示出）。