[实用新型]真空及漏率多功能校准装置有效
申请号: | 201420627900.4 | 申请日: | 2014-10-27 |
公开(公告)号: | CN204142420U | 公开(公告)日: | 2015-02-04 |
发明(设计)人: | 林瑞初;费渭南;刘金生;凌波;陈星;丁军平;付香萍;叶红梅;肖永超;杨晔;王立全;陈俊华 | 申请(专利权)人: | 中国航天员科研训练中心 |
主分类号: | G01L27/00 | 分类号: | G01L27/00;G01M3/02 |
代理公司: | 北京权泰知识产权代理事务所(普通合伙) 11460 | 代理人: | 王道川 |
地址: | 100094*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公布一种真空及漏率多功能校准装置,包括箱体和真空及漏率多功能校准系统,所述真空及漏率多功能校准系统设在所述箱体内;所述真空及漏率多功能校准系统包括检测管路、高真空校准分系统、低真空校准分系统、漏率校准分系统、机械泵和分子泵;所述检测管路包括导气管、手动隔断阀V9、手动隔断阀V10、手动隔断阀V2、微调阀V6和电磁隔断阀V14,所述手动隔断阀V9、所述手动隔断阀V10、所受手动隔断阀V2、所述微调阀V6和所述电磁隔断阀V14通过导气管依次连接。本实用新型结构合理,符合国家标准,操作方便,校准数据准确可靠,且检定效率高,校准范围宽。 | ||
搜索关键词: | 真空 多功能 校准 装置 | ||
【主权项】:
真空及漏率多功能校准装置,其特征在于,包括箱体(100)和真空及漏率多功能校准系统(200),所述真空及漏率多功能校准系统(200)设在所述箱体(100)内;所述真空及漏率多功能校准系统(200)包括检测管路、真空校准分系统(203)、漏率校准分系统(204)、机械泵(201)和分子泵(202);所述检测管路包括导气管、手动隔断阀V9(207)、手动隔断阀V10(208)、手动隔断阀V2(222)、手动隔断阀V1(205)、电磁隔断阀V15(210)和电阻规G5(224);所述手动隔断阀V9(207)、所述手动隔断阀V10(208)、所述手动隔断阀V2(222)、所述手动隔断阀V1(205)、所述分子泵(202)、所述电磁隔断阀V15(210)和所述电阻规G5(224)通过导气管依次连接;所述机械泵(201)依次经过电磁放气阀V17(212)和挡油阱(213)与位于所述手动隔断阀V9(207)和所述电阻规G5(224)之间的所述检测管路连接导通,所述漏率校准分系统(204)与位于所述手动隔断阀V9(207)和所述手动隔断阀V2(222)之间的所述检测管路连接导通,所述真空校准分系统(203)与位于所述手动隔断阀V2(222)和所述手动隔断阀V1(205)之间的所述检测管路连接导通,位于所述手动隔断阀V1(205)和所述分子泵(202)之间的所述检测管路经过微调阀V16(211)与氮气存储装置(226)连接导通。
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