[实用新型]缓冲氧化腐蚀液制备装置有效
| 申请号： | 201420620111.8 | 申请日： | 2014-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN204237867U | 公开（公告）日： | 2015-04-01 |
| 发明（设计）人： | 李操 | 申请（专利权）人： | 江阴市化学试剂厂有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;C30B33/10 |
| 代理公司： | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 | 代理人： | 唐纫兰;申萍 |
| 地址： | 214421 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种缓冲氧化腐蚀液制备装置，其特征在于它包括配制罐（1）、表面活性剂储罐（2）、氢氟酸储罐（3）、氨气储罐（4）、水洗槽（5）、过滤装置（6）以及成品罐（7）。所述配制罐（1）的顶部设置有三个进料口，三个进料口分别通过管道连接表面活性剂储罐（2）、氢氟酸储罐（3）以及水洗槽（5）的出料口，水洗槽（5）的进料口与氨气储罐（4）的出料口连接，所述配制罐（1）底部的出料口通过出料管道连接成品罐（7），出料管道上设置过滤装置（6）。本实用新型缓冲氧化腐蚀液制备装置在配制罐中通过添加表面活性剂，制备出的缓冲氧化腐蚀液具有低表面张力，使得其能够用于腐蚀硅基片表面小孔径。 | ||
| 搜索关键词： | 缓冲 氧化 腐蚀 制备 装置 | ||
【主权项】：
一种缓冲氧化腐蚀液制备装置，其特征在于它包括配制罐（1）、表面活性剂储罐（2）、氢氟酸储罐（3）、氨气储罐（4）、水洗槽（5）、过滤装置（6）以及成品罐（7）；所述配制罐（1）的顶部设置有三个进料口，三个进料口分别通过管道连接表面活性剂储罐（2）、氢氟酸储罐（3）以及水洗槽（5）的出料口，水洗槽（5）的进料口与氨气储罐（4）的出料口连接，所述配制罐（1）底部的出料口通过出料管道连接成品罐（7），出料管道上设置过滤装置（6），所述配制罐（1）的顶部还通过管道连接有水封（8）。
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