[实用新型]基材固定装置与溅镀设备

摘要

一种基材固定装置与溅镀设备，该溅镀设备包含一个的基材固定装置，及一个使基材固定装置呈倾斜放置的输送装置。基材固定装置由上往下逐渐向前倾斜，并包括一个基材载架，及数个分别安装于基材载架并用于承载基材的承载单元。每一个承载单元包括一个承托模组及一个抵靠模组。该承托模组具有一个与一水平面呈一夹角且供基材倾斜放置于上方的放置面，该抵靠模组邻近于该放置面的较低的一端以供基材抵靠。通过该承托模组与该抵靠模组的摆放设计，使基材能同时受到该承托模组与该抵靠模组的支撑，而能直接稳固地斜向摆放。

主权项

一种基材固定装置，适用于供一片基材放置，并包含：一个基材载架，该基材载架包括一个上下延伸的安装面；其特征在于：该基材固定装置还包含至少一个用于承载该基材的承载单元，该承载单元包括安装于该安装面上的一个承托模组及一个抵靠模组，该承托模组具有一个与一水平面呈一夹角且供该基材倾斜放置于上方的放置面，该抵靠模组邻近于该放置面的较低的一端，以供该基材抵靠，该承托模组、该抵靠模组与该安装面相配合界定出一个可供该基材放置的放置空间。