[实用新型]一种适用于过滤电子级磷酸的滤料有效
| 申请号： | 201420595433.1 | 申请日： | 2014-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN204182188U | 公开（公告）日： | 2015-03-04 |
| 发明（设计）人： | 王立平;王国强;耿瑞娟;王东辉;张颖 | 申请（专利权）人： | 洛阳盛洁环保科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D29/05 | 分类号： | B01D29/05;B01D29/58;C01B25/234 |
| 代理公司： | 洛阳市凯旋专利事务所 41112 | 代理人： | 符继超 |
| 地址： | 471000 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种适用于过滤电子级磷酸的滤料，其特征是：包括两层在PTFE滤布，所述两层PTFE滤布上设置圆孔，所述两层PTFE滤布上圆孔之间设置有PTFE圆形通道，所述PTFE圆形通道的长度为8~12mm，所述PTFE滤布为高缜密基布，所述PTFE滤布的内表面覆有Gore膜，所述PTFE滤布的外表面附有PTFE膜。采用Gore膜对磷酸进行过滤,通过与PTFE滤布的复合使用，代替通常使用的化纤滤布进行过滤,可以控制微粒要求0.2μm以下，满足工厂适用于大规模集成电路加工工艺，用于小于0.09-0.20um线宽电路蚀刻。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 过滤 电子 磷酸 | ||
【主权项】：
一种适用于过滤电子级磷酸的滤料，其特征是：包括两层PTFE滤布（1）， 所述两层PTFE滤布（1）上设置圆孔，所述两层PTFE滤布上圆孔之间设置有PTFE圆形通道（4），所述PTFE圆形通道（4）的长度为8~12mm，所述PTFE滤布（1）为高缜密基布，所述PTFE滤布（1）的内表面覆有Gore膜（5），所述PTFE滤布的外表面附有PTFE膜（2）。
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