[实用新型]一种切割钳

摘要

本实用新型提供一种切割钳，所述切割钳包括钳头，所述钳头包括上齿和下齿，所述上齿内设有激光发射装置，所述下齿上设有划刻单元、固定轴和弹性装置；所述切割钳通过在上齿内设置激光发射装置，同时在下齿上设置有划刻单元，可以实现对晶圆表面的样品进行正面对准，背面划刻，有效地避免了对样品表面的污染；同时，使用激光笔对样品进行定位，使得定位的精准度更高；使用所述切割钳进行样品切割时，可以同步完成对晶圆的划刻与破片，大大提高了操作效率；且在对晶圆的破片过程中，可以使得晶圆沿着晶格的方向破裂开，提高了破片的精准度。

主权项

一种切割钳，适于切割晶圆表面的样品，所述切割钳包括钳头，所述钳头包括上齿和下齿，其特征在于，所述切割钳还包括：激光发射装置，所述激光发射装置位于所述上齿内，适于发射激光束与所述样品对准，以限定所述切割钳的切割路径；切割装置，位于所述上齿和所述下齿之间，包括划刻单元和固定轴；其中，所述固定轴的一端与所述下齿转动连接，另一端与所述划刻单元相连接。