[实用新型]一种MOCVD集尘过滤器有效
申请号: | 201420550764.3 | 申请日: | 2014-09-24 |
公开(公告)号: | CN204159172U | 公开(公告)日: | 2015-02-18 |
发明(设计)人: | 李致文;杨宝立 | 申请(专利权)人: | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
主分类号: | B01D50/00 | 分类号: | B01D50/00 |
代理公司: | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人: | 胡朝阳;孙洁敏 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区横岗*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种MOCVD集尘过滤器,包括:冷却过滤装置和滤芯过滤装置,所述冷却过滤装置包括:设有进气口和连通出气口的冷却筒、均匀排列设于冷却筒内的至少一层水冷粗滤层、环绕所述水冷粗滤层的至少一根冷却水管,所述冷却水管接入外部水管;所述滤芯过滤装置包括:设有出气口和连通进气口的过滤筒、均匀排列设于过滤筒内的滤芯;所述冷却过滤装置与滤芯过滤装置通过连通出气口和连通进气口密封连接。本实用新型设有冷却过滤装置和滤芯过滤装置,冷却过滤装置对废气进行粗过滤,气体经过该冷却区域动能降低,粗滤后的气体再通过滤芯进一步细滤,保证气体的充分净化。 | ||
搜索关键词: | 一种 mocvd 集尘 过滤器 | ||
【主权项】:
一种MOCVD集尘过滤器,其特征在于包括:冷却过滤装置和滤芯过滤装置, 所述冷却过滤装置包括:设有进气口和连通出气口的冷却筒、均匀排列设于冷却筒内的至少一层水冷粗滤层、环绕所述水冷粗滤层的至少一根冷却水管,所述冷却水管接入外部水管;所述滤芯过滤装置包括:设有出气口和连通进气口的过滤筒、均匀排列设于过滤筒内的滤芯;所述冷却过滤装置与滤芯过滤装置通过连通出气口和连通进气口密封连接。
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