[实用新型]一种MOCVD集尘过滤器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种MOCVD集尘过滤器。

背景技术

MOCVD 是半导体LED行业的基础性设备，而我国在该设备主要依赖于进口，随着国家能源的紧缺和半导体照明工程的发展，国产MOCVD 设备的研发工作的重要性愈加凸显。目前该型设备上一般都使用工艺废气排放过滤器，过滤器的主要作用是过滤工艺废气中的粉尘，延长干泵的使用寿命，避免干泵内粉尘积累引起故障停机。现有过滤器主要采用滤网或滤芯对废气进行过滤，滤网只能对大颗粒的粉尘进行过滤，对废气中的小颗粒粉尘无法做到完全过滤清除，净化效果不好，滤网极易被粉尘堵塞，干泵和过滤器的维护周期短。

因此，如何设计一种过滤效果好、维护周期长的高的MOCVD集尘过滤器是业界亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型针对上述现有技术中存在的问题提供了一种过滤效果好、维护周期长的高的MOCVD集尘过滤器。

本实用新型提出的技术方案是，设计一种MOCVD集尘过滤器，包括：冷却过滤装置和滤芯过滤装置， 所述冷却过滤装置包括：设有进气口和连通出气口的冷却筒、均匀排列设于冷却筒内的至少一层水冷粗滤层、环绕所述水冷粗滤层的至少一根冷却水管，所述冷却水管接入外部水管；所述滤芯过滤装置包括：设有出气口和连通进气口的过滤筒、均匀排列设于过滤筒内的滤芯；所述冷却过滤装置与滤芯过滤装置通过连通出气口和连通进气口密封连接。

所述水冷粗滤层上横向间隔设有定位孔，所述冷却水管顺次穿过所述定位孔环绕所有水冷粗滤层。

所述水冷粗滤层纵向平行设于冷却筒内、所述进气口设于冷却筒的一端，冷却筒内还设有一与进气口相邻的气流挡板，挡板一侧设有引流口，所述连通出气口设于冷却筒上背向引流口的侧面。

所述滤芯纵向平行设于过滤筒内，所述出气口设于过滤筒的一端，所述连通进气口设于过滤筒的一侧面。

所述过滤筒内还设有一与出气口相邻的限流板，所述限流板中心设有通孔，限流板与过滤筒内壁形成一与出气口连通的缓冲腔。

所述冷却筒两端由冷却筒端盖密封，所述过滤筒两端由过滤筒端盖密封，所述进气口设于冷却筒端盖上，所述出气口设于过滤筒端盖上。

所述冷却筒内设有四层水冷粗滤层及两根冷却水管，所述冷却水管顺次穿过定位孔缠绕在相邻的两层水冷粗滤层之间。

与现有技术相比，本实用新型设有冷却过滤装置和滤芯过滤装置，冷却过滤装置对废气进行粗过滤，气体经过该冷却区域动能降低，同时热量也大大降低，确保更多的粉尘可以在冷却筒内被捕集，粗滤后的气体再通过滤芯进一步细滤，保证气体的充分净化，安全的进入干泵，加长了过滤器和干泵的维护周期。

附图说明

下面结合实施例和附图对本实用新型进行详细说明，其中：

图1为本实用新型的剖视图。

具体实施方式

如图1所示，本实用新型提出的MOCVD集尘过滤器，包括：冷却过滤装置1和滤芯过滤装置2。

冷却过滤装置1包括：设有进气口11和连通出气口12的冷却筒13、均匀排列设于冷却筒13内的至少一层水冷粗滤层14、环绕水冷粗滤层14的至少一根冷却水管15，冷却水管15接入外部水管16。滤芯过滤装置2包括：设有出气口21和连通进气口22的过滤筒23、均匀排列设于过滤筒23内的滤芯24。冷却过滤装置1与滤芯过滤装置2通过连通出气口12和连通进气口22密封连接。冷却过滤装置1对废气进行粗过滤，气体经过该冷却区域动能降低，同时热量也大大降低，确保更多的粉尘可以在冷却筒13内被捕集，粗滤后的气体再通过滤芯24进一步细滤，保证气体的充分净化，安全的进入干泵，加长了过滤器和干泵的维护周期。

水冷粗滤层14上横向间隔设有定位孔，冷却水管15顺次穿过定位孔环绕所有水冷粗滤层14，冷却水管15环绕穿过每层水冷粗滤层14，与废气充分接触冷却水管15，气体动能大幅降低，废气中大粒粉尘沉降，水冷粗滤层14的过滤效率高。水冷粗滤层14纵向平行设于冷却筒13内、进气口11设于冷却筒13的一端，冷却筒13内还设有一与进气口11相邻的气流挡板17，挡板17一侧设有引流口18，连通出气口12设于冷却筒13上背向引流口18的侧面，即连通出气口12垂直朝向水冷粗滤层14设置。废气进过进气口11进入冷却筒13内，被挡板17引流到多层水冷粗滤层14一侧进入，经过多层水冷粗滤层14的冷却过滤再汇集到连通出气口12，引流口18和连通出气口12的设置保证进入冷却筒内的废气与水冷粗滤层14完全接触。