[实用新型]一种超声波太阳能硅片清洗机

摘要

本实用新型提供了一种超声波太阳能硅片清洗机，属于硅片清洗技术领域。它解决了现有的清洗机的平移支架较庞大，占用空间，耗能的问题。本超声波太阳能硅片清洗机包括机架和用于放置硅片的吊篮，机架上设有若干个呈一条直线排列的水槽，机架上还设有与水槽排列方向平行的导柱和齿条，导柱上套有沿着导柱滑动的滑座，滑座上端面垂直固连有立柱，立柱上开有竖直的滑槽，滑槽内嵌有能沿着立柱上下滑动的支架，支架位于水槽上方，支架的外端固连有夹座，夹座上设有可相对夹座摆动的挂钩，夹座内设有能带动挂钩摆动而钩住吊篮的驱动机构。支架可以水平或者垂直运动，支架简单小巧灵活，节省各个电机的功耗。

主权项

一种超声波太阳能硅片清洗机，包括机架和用于放置硅片的吊篮，所述机架上设有若干个呈一条直线排列的水槽，所述水槽可容纳吊篮放入其中，所述水槽底部设有超声波发声板，所述水槽内侧部设有电加热器，其特征在于，所述机架上还设有与水槽排列方向平行的导柱和齿条，导柱上套有沿着导柱滑动的滑座，所述滑座上固定有电机一，电机一的输出轴上套有与齿条啮合的齿轮，所述滑座上端面垂直固连有立柱，立柱上开有竖直的滑槽，滑槽内嵌有能沿着立柱上下滑动的支架，支架位于水槽上方，所述滑槽内设有丝杆且丝杆与支架螺纹连接，所述立柱顶部固定有带动丝杆转动的电机二，所述支架的外端固连有夹座，夹座上设有可相对夹座摆动的挂钩，所述夹座内设有能带动挂钩摆动而钩住吊篮的驱动机构。