[实用新型]有效控制晶体生长梯度温度的多晶硅铸锭炉

摘要

本实用新型公开了一种有效控制晶体生长梯度温度的多晶硅铸锭炉，解决了现有的硅锭在生产过程中温度梯度处于半失控状态的问题。包括在石墨冷却台（11）上设置有活动隔热条（5）和石英坩埚（6），在铸锭炉上炉体（9）上设置有可升降隔热笼（10），在可升降隔热笼（10）底端与底部保温板（15）之间设置有间隔缝（16），在石墨冷却台（11）的下底面上扣接有强冷导热盒（3），在强冷导热盒（3）的盒底面上分别设置有强冷导流冷却气输入口（17）和强冷导流冷却气输出口（18），在强冷导流冷却气输入口（17）上连接有强冷导流冷却气输入管（1）。本实用新型结构简单，操作方便，特别适合在现实生产中使用。

主权项

一种有效控制晶体生长梯度温度的多晶硅铸锭炉，包括铸锭炉上炉体（9）和铸锭炉下炉体（13），在铸锭炉下炉体（13）内固定设置有石墨支撑柱（12），在石墨支撑柱（12）上设置有石墨冷却台（11），在石墨冷却台（11）上设置有活动隔热条（5），在活动隔热条（5）上设置有石英坩埚（6），在石墨冷却台（11）与铸锭炉下炉体（13）的炉底之间设置有底部保温板（15），在铸锭炉下炉体（13）的炉底内设置有溢流棉（14），在铸锭炉上炉体（9）上设置有可升降隔热笼（10），在可升降隔热笼（10）内设置有电加热器（7），在可升降隔热笼（10）底端与底部保温板（15）之间设置有间隔缝（16），在可升降隔热笼（10）的顶端设置有顶部隔热板（8），其特征在于，在石墨冷却台（11）的下底面上扣接有强冷导热盒（3），在强冷导热盒（3）的盒底面上分别设置有强冷导流冷却气输入口（17）和强冷导流冷却气输出口（18），在强冷导流冷却气输入口（17）上连接有强冷导流冷却气输入管（1），在强冷导流冷却气输入管（1）的另一端连接有强冷导流冷却液氩装置。