[实用新型]手动旋转式单边开合光罩盒的工具

摘要

本实用新型涉及一种辅助光罩盒开合工具，尤其涉及一种手动式旋转单边开合光罩盒工具，通过旋转台面带动转动轴旋转，使固定带产生一个拉力，进而带动固定连杆在台面上趋向转动轴运动，而定位销又卡接在盖子上的卡扣，进而使得该卡扣卡接在位于底座的卡柱上，或者使得已经卡接在卡柱上的卡扣从该卡柱上松开，以实现对晶圆盒的闭合或开启动作。本实用新型公开的手动旋转式单边开合光罩盒工具，其结构简单，并且可简单有效的打开或关闭光罩盒，减少工程师处理光罩盒开合问题时遇到的操作风险和处理时间，避免光罩盒内部器件挤压产生的应力导致光罩破坏，可担当自动开光罩盒机台的备用工具。

主权项

一种手动旋转式单边开合光罩盒的工具，其特征在于，所述光罩盒包括底座、盒体和盖子，所述盒体固定设置于所述底座上，所述盖子上设置有卡扣，所述底座的底部设置有卡柱；所述卡扣卡接所述卡柱，以将所述盖子固定在所述盒体上；所述工具包括： 台面，表面上设置有固定顶角，所述固定顶角用于固定所述底座； 转动轴，贯穿所述台面，且所述台面与所述转动轴的转子固定连接，以使得所述台面可相对于所述转动轴的定子转动； 固定连杆，两端均卡接在一滑动轨道中，且所述固定连杆的中部还通过固定带与所述转动轴的定子固定连接； 定位销，固定设置于所述固定连杆的两端，以用于卡接所述卡扣； 其中，当所述台面相对于所述定子转动时，所述固定带带动所述固定连杆运动，所述定位销与所述固定连杆同步运动并带动所述卡扣卡在所述卡柱上或者带动所述卡扣从所述卡柱上松开，以闭合或开启所述盖子。