[实用新型]手动旋转式单边开合光罩盒的工具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种辅助光罩盒开合的工具，尤其涉及一种手动式旋转单边开合光罩盒的工具。 

背景技术

随着电子产品朝着轻薄短小、高频、高效能方向发展，使得芯片上集成电路线径越来越轻微细化。由于芯片上集成电路线径的轻微细化成败主要在于半导体工艺中的黄光微影工艺技术，其关键设备是在于光罩；藉此，一种安全性更高的光罩盒随着其需求而出现，随着光罩盒的出现，光罩盒的打开是工程师们面临的一技术问题。 

目前机台端的开合光罩盒承载装置和自动开光罩盒机台设置有两组压力传感器，光罩盒必须同时压住两边两组传感器，才能正常开启和闭合。但是在实际使用中，经常会出现各自情况导致光罩盒无法正常开启或关闭，例如：1、当出现人为从机器取光罩盒在机器闭合盖子的过程中，关闭卡闭合一边，而另一边却没有合上，导致光罩盒无法正常开启，如果强行开启会导致光罩盒破损；2、由于光罩盒内部器件脱落导致盒子关闭异常；3、自动开光罩盒机台不能正常工作，而此时需要清理光罩上颗粒。当遇到上述问题之一时，工程师都只能用手将光罩盒子打开，但是这种方式效率低下，而且工程师在打开的过程中还存在很高的风险。 

实用新型内容

本实用新型针对目前光罩盒开合异常时，需要采取手动取出时，产生的不方便性和高风险性等技术问题，设计了一种手动旋转式单边开合光罩盒的工具，即通过在底座下方安装一台面，台面上设置有与底座上固定凹槽匹配的固定顶角(需要注意的是，此处的匹配不仅使得固定顶角与固定凹槽形状、尺寸上的匹配，还包括数量、设置的位置及其之间的距离、排列方式等条件的匹配，也可设置多个固定顶角以适应不同类型、规格晶圆盒的需求，但无论设置方式及相关参数如何设定，需确保使得晶圆盒在进行开启或闭合操作时，均固定在该固定顶角上即可)，以固定光罩盒的底座；同时，该台面上还设置有若干个(如3个等)固定挡板，以固定光罩盒的盖子，进一步的增强在进行光罩盒的开启或闭合操作时，光罩盒相对于台面的固定性能；而设定的转动轴则镶嵌并贯穿于台面的顶端(也可根据具体的晶圆盒类型及不同的工艺需求，设置于其他的合适的位置)，使得台面固定在该转动轴的转子上(在实际的应用操作中，也可根据需求将台面与转动轴的定子固定连接，相应的与后续连动轴及固定带也要进行适应性的改动，本领域的技术人员可参见本实用新型记载的实施例根据公知知识进行实现，在此便不予累述)，且该转动轴的底端部的表面还可固定在一用于固定的平面上(如操作台等相对于地面不易移动的设备等)，在起到支撑上述台面及放置于台面上等待打开或闭合的晶圆盒，还能使得台面能够相对于该转动轴的定子转动，进而为后续打开或闭 合晶圆盒提供动力；上述的转动轴的定子通过固定带与设置在台面上的固定连杆连接，且该固定连杆的两端部上设置有尖端在上锥形的定位销，在台面相对于定子转动时，由于固定带固定在该定子上，使得该固定带产生一个拉力，进而带动固定连杆在台面上趋向转动轴运动，而定位销又卡接在盖子上的卡扣，进而使得该卡扣卡接在位于底座的卡柱上，或者使得已经卡接在卡柱上的卡扣从该卡柱上松开，以实现对晶圆盒的闭合或开启动作。 

本实用新型的技术方案为： 

一种手动旋转式单边开合光罩盒的工具，其中，所述光罩盒包括底座、盒体和盖子，所述盒体固定设置于所述底座上，所述盖子上设置有卡扣，所述底座的底部设置有卡柱；所述卡扣卡接所述卡柱，以将所述盖子固定在所述盒体上；所述工具包括： 

台面，表面上设置有固定顶角，所述固定顶角用于固定所述底座； 

转动轴，贯穿所述台面，且所述台面与所述转动轴的转子固定连接，以使得所述台面可相对于所述转动轴的定子转动； 

固定连杆，两端均卡接在一滑动轨道中，且所述固定连杆的中部还通过固定带与所述转动轴的定子固定连接； 

定位销，固定设置于所述固定连杆的两端，以用于卡接所述卡扣； 

其中，当所述台面相对于所述定子转动时，所述固定带带动所述固定连杆运动，所述定位销与所述固定连杆同步运动并带动所述卡扣卡在所述卡柱上或者带动所述卡扣从所述卡柱上松开，以闭合或开启所述盖子。 

优选的，上述的工具中，还包括： 

连动轴，设置于所述固定连杆的中心，并通过所述固定带与所述连动轴的定子连接； 

当所述台面相对于所述定子转动时，所述固定带通过所述连动轴带动所述固定连杆运动。 

优选的，上述的工具中，所述连动轴与所述转动轴之间的连线垂直于所述固定连杆的长度延伸方向。