[实用新型]光刻胶供应装置及系统有效
| 申请号： | 201420487628.4 | 申请日： | 2014-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN204129434U | 公开（公告）日： | 2015-01-28 |
| 发明（设计）人： | 胡鹏飞;刘开来;徐纯 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;林彦之 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光刻胶供应装置及系统，通过在光刻胶消耗侦测桶的排气管路加装一个空气过滤器，使得当消耗侦测桶检测到光刻胶存储装置内光刻胶用完并报空时，打开排气管路泄压，外界空气不会直接与消耗侦测桶内的光刻胶相接触，避免空气中的灰尘、颗粒等污物进入光刻胶，对后续工艺、产品带来不利影响，提高了工艺的安全性、可靠性，保证了产品的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 供应 装置 系统 | ||
【主权项】：
一种光刻胶供应装置，其包括：用于存储光刻胶的光刻胶存储装置、用于将光刻胶存储装置中光刻胶抽取至喷嘴的泵、用于检测光刻胶存储装置中光刻胶量的消耗侦测桶，该光刻胶存储装置、消耗侦测桶与泵通过管路依次连通，其特征在于：该消耗侦测桶具有第一排气管路及设于第一排气管路上的第一排气阀，该第一排气管路上还设有第一空气过滤器，以使该消耗侦测桶内的光刻胶经过该第一空气过滤器才与大气相通。
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