[实用新型]光刻胶供应装置及系统

权利要求书

1.一种光刻胶供应装置，其包括：用于存储光刻胶的光刻胶存储装置、用于将光刻胶存储装置中光刻胶抽取至喷嘴的泵、用于检测光刻胶存储装置中光刻胶量的消耗侦测桶，该光刻胶存储装置、消耗侦测桶与泵通过管路依次连通，其特征在于：该消耗侦测桶具有第一排气管路及设于第一排气管路上的第一排气阀，该第一排气管路上还设有第一空气过滤器，以使该消耗侦测桶内的光刻胶经过该第一空气过滤器才与大气相通。 

2.根据权利要求1所述的光刻胶供应装置，其特征在于：该第一空气过滤器设于第一排气阀与第一排气管路末端之间。 

3.根据权利要求1所述的光刻胶供应装置，其特征在于：该光刻胶供应装置还包括消耗侦测桶与泵之间并与两者管路连通的气泡收集桶，该气泡收集桶具有第二排气管路及设于第二排气管路上的第二排气阀，该第二排气管路上设有第二空气过滤器，以使该气泡收集桶内的光刻胶经过该第二空气过滤器才与大气相通。 

4.根据权利要求3所述的光刻胶供应装置，其特征在于：该第二空气过滤器设于第二排气阀与第二排气管路末端之间。 

5.根据权利要求4所述的光刻胶供应装置，其特征在于：该第一空气过滤器和/或第二空气过滤器含有无纺布层、静电过滤层、光触媒过滤层、活性炭过滤层、等离子过滤层中的一个或多个。 

6.根据权利要求1所述的光刻胶供应装置，其特征在于：该泵为单级泵。 

7.一种光刻胶供应系统，其包括多个如权利要求1至6任一项所述的光刻胶供应装置，该光刻胶供应装置包括用于存储光刻胶的光刻胶存储装置、用于将光刻胶存储装置中光刻胶抽取至喷嘴的泵、用于检测光刻胶存储装置中光刻胶量的消耗侦测桶，该光刻胶存储装置、消耗侦测桶与泵通过管路依次连通，其特征在于：该消耗侦测桶具有排气管路及设于排气管路上的排气阀，该多个光刻胶供应装置中的排气管路分别连通至一连通器，该连通器内或末端设有第三空气过滤器，以使该消耗侦测桶内的光刻胶经过该第三空气过滤器才与大气相通。