[实用新型]一种氟气缓冲罐串联的氟磷反应器

摘要

本实用新型公开了一种氟气缓冲罐串联的氟磷反应器，氟磷反应器包括反应罐和氟气缓冲罐，氟气缓冲罐包括第一缓冲罐、第二缓冲罐和第三缓冲罐，第一缓冲罐上连接有氟气输入管，反应罐上设置有五氟化磷输出管，五氟化磷输出管通过回流管连接氟气输入管，五氟化磷输出管与回流管之间设置有分流阀；反应罐的侧面上设置有第一入口管和第一出口管，反应罐内设置有磷粉分配槽、通气管和反应装置，反应装置包括反应管、储气管、气体分配球和防堵阀门，反应装置通过转换器固定连接在通气管上，磷粉分配槽通过输磷管连接转换器。本实用新型结构简单，实用性强，通过五氟化磷返回入口，进而降低氟气浓度，降低其活性，同时可以提高气体流速，带走热量。

主权项

一种氟气缓冲罐串联的氟磷反应器，所述氟磷反应器包括反应罐和氟气缓冲罐，其特征在于：所述氟气缓冲罐包括第一缓冲罐、第二缓冲罐和第三缓冲罐，所述第一缓冲罐上连接有氟气输入管，所述第一缓冲罐与所述第二缓冲罐、所述第二缓冲罐与所述第三缓冲罐、所述第三缓冲罐与所述反应罐之间通过连接管固定连接，所述反应罐上设置有五氟化磷输出管，所述五氟化磷输出管通过回流管连接所述氟气输入管，所述五氟化磷输出管与所述回流管之间设置有分流阀；所述反应罐的顶面上设置有加磷料仓，所述加磷料仓通过支撑管固定连接在所述反应罐上，所述反应罐的侧面上设置有第一入口管和第一出口管，所述第一入口管与所述连接管相匹配，所述第一出口管与所述五氟化磷输出管相匹配，所述反应罐内设置有磷粉分配槽、通气管和反应装置，所述通气管位于所述第一入口管和所述第一出口管之间，所述反应装置包括反应管、储气管、气体分配球和防堵阀门，所述反应管位于所述气体分配球和所述防堵阀门之间，所述储气管位于所述反应管的两侧，所述反应装置通过转换器固定连接在所述通气管上，所述磷粉分配槽通过输磷管连接所述转换器。