[实用新型]研磨垫修整器及研磨装置有效
| 申请号： | 201420478974.6 | 申请日： | 2014-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN204076016U | 公开（公告）日： | 2015-01-07 |
| 发明（设计）人： | 吴科;魏红建 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017;B24B49/00;B24B37/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种研磨垫修整器及研磨装置，通过在研磨盘上设置有可拆卸连接的信号探测器，当研磨垫修整器在进行修整作业时，扭力传感器采集信号探测器中的摩擦力探头与研磨垫接触时所产生的压力信号，之后将压力信号显示于监测器上，由监测器所显示波形的状态即可得知研磨垫的表面的状况，根据研磨垫的表面的状况可以获知研磨垫修整器对研磨垫的修整情况，同时可以根据实际情况选择更换研磨垫，避免了采用现有技术获知研磨垫的表面的状况需要耗费大量的人力物力的问题，提高了进行化学机械研磨时产品的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 修整 装置 | ||
【主权项】：
一种研磨垫修整器，其特征在于，包括：研磨盘、与所述研磨盘可拆卸连接的信号探测器及与所述信号探测器连接的监测器；其中，所述信号探测器包括：摩擦力探头及套接于所述摩擦力探头上的扭力传感器。
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