[实用新型]研磨垫修整器及研磨装置有效
| 申请号： | 201420478974.6 | 申请日： | 2014-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN204076016U | 公开（公告）日： | 2015-01-07 |
| 发明（设计）人： | 吴科;魏红建 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017;B24B49/00;B24B37/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 修整 装置 | ||
1.一种研磨垫修整器，其特征在于，包括：研磨盘、与所述研磨盘可拆卸连接的信号探测器及与所述信号探测器连接的监测器；其中，所述信号探测器包括：摩擦力探头及套接于所述摩擦力探头上的扭力传感器。
2.如权利要求1所述的研磨垫修整器，其特征在于，还包括：设置于所述信号探测器与所述监测器之间且依次连接的信号转换器、信号放大器及信号滤波器。
3.如权利要求1所述的研磨垫修整器，其特征在于，所述研磨盘设置有安装孔；所述安装孔的孔壁上设置有螺纹。
4.如权利要求3所述的研磨垫修整器，其特征在于，所述信号探测器通过所述安装孔与所述研磨盘连接。
5.如权利要求4所述的研磨垫修整器，其特征在于，所述摩擦力探头包括固定杆及与所述固定杆连接的探测头；所述探测头呈球形，且所述探测头的直径小于所述安装孔的直径。
6.如权利要求5所述的研磨垫修整器，其特征在于，所述固定杆的一端的直径等于所述安装孔的直径，且其侧壁上设置有螺纹。
7.如权利要求5所述的研磨垫修整器，其特征在于，所述探测头从所述研磨盘露出0.2mm～0.5mm。
8.如权利要求5所述的研磨垫修整器，其特征在于，所述探测头为金属探测头。
9.如权利要求8所述的研磨垫修整器，其特征在于，所述探测头为铬探测头。
10.一种研磨装置，其特征在于，包括：研磨台、设置于所述研磨台上的研磨垫、设置于所述研磨垫上方的研磨头及权利要求1-9中任一项所述的研磨垫修整器。
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