[实用新型]破裂检测机构有效
| 申请号： | 201420468448.1 | 申请日： | 2014-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN204086159U | 公开（公告）日： | 2015-01-07 |
| 发明（设计）人： | 刘文明;陈薇云 | 申请（专利权）人： | 弘塑科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/958 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 李昕巍;赵根喜 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种破裂检测机构，应用于玻璃及晶圆剥离后破裂状态的检出，该玻璃及该晶圆的间定义为一检测位置，该破裂检测机构包括一转动件、至少一传感器及一第一驱动装置。传感器设置于转动件上，转动件连接于第一驱动装置，第一驱动装置能驱动转动件转动，转动件、传感器及第一驱动装置能移入及移出检测位置；由此，可用于板材(如玻璃、晶圆)破裂状态检出，且可降低成本，并使检测功能提升。 | ||
| 搜索关键词： | 破裂 检测 机构 | ||
【主权项】：
一种破裂检测机构，其特征在于，包括：一转动件；至少一传感器，该至少一传感器设置于该转动件上；以及一第一驱动装置，该转动件连接于该第一驱动装置，该第一驱动装置能驱动该转动件转动。
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