[实用新型]一种用于薄膜生长的超高真空腔体有效
| 申请号： | 201420443139.9 | 申请日： | 2014-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN203976909U | 公开（公告）日： | 2014-12-03 |
| 发明（设计）人： | 赵嘉峰;欧宏炜 | 申请（专利权）人： | 费密仪器科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陆飞;盛志范 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型属于真空腔体机械技术领域，具体为一种用于薄膜生长的超高真空腔体。其主体为一个由正方体切割去八个顶角而形成，其内部作球形掏空，构成用于薄膜生长的腔体内壁；正方体的六个方形面上分别设有大法兰接口，与腔体内壁贯穿连通；每一个截面上设有小法兰接口，与腔体内壁贯穿连通。本实用新型，内部基于球形腔体内壁表面积小、一体加工而成无焊接口的特殊设计，有效提高了该超高真空腔体的极限真空度,一般机械泵结合300L/s抽速的分子泵，极限真空度可进入10-11mbar,预留法兰接口能满足绝大部分分子束外延薄膜生长的需求，具有极限真空度高、轻巧方便、空间利用率高等优点。 | ||
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【主权项】：
一种用于薄膜生长的超高真空腔体，其特征在于主体为一截角十四面体（1），该截角十四面体（1）由一正方体切割去八个顶角而形成，每一个顶角切割后形成的截面（2）相同；立方体内部作球形掏空，构成了用于薄膜生长的超高真空腔体内壁（4）；所述正方体包括六个方形面（3），每一个方形面（3）上分别设有大法兰接口（5），与超高真空腔体内壁（4）贯穿连通；所述截面（2）有八个，每一个截面（2）上设有小法兰接口（6），与超高真空腔体内壁（4）贯穿连通。
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