[实用新型]一种用于保护真空镀膜设备观察窗的装置

摘要

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种用于保护真空镀膜设备观察窗的装置，包括由不锈钢薄板卷成的圆筒、固定挡片以及保护玻璃。本实用新型可以将保护玻璃卡持在观察窗座内腔中，并与观察玻璃贴合，达到最佳观察效果。保护玻璃在观察玻璃与真空腔室形成间隔，可以阻挡污染物，有效地阻止其沉积在观察玻璃上，减少观察玻璃的拆卸次数，保护观察玻璃不被污染，达到保护观察窗的目的。本实用新型由一张带有固定挡片的不锈钢薄板制成，不需要复杂的加工，制作简单。当保护玻璃经过长期使用变得模糊后，只要将圆筒从观察窗座内腔内取出，然后展开便可将保护玻璃取下进行清洗，方便简单。

主权项

一种用于保护真空镀膜设备观察窗的装置，包括由不锈钢薄板卷成的圆筒（8）、固定挡片（9）、固定挡片（11）以及保护玻璃（10），其特征在于所述装置圆筒由一张不锈钢薄板卷成，薄板上事先做好固定保护玻璃用的固定挡片，使用时将带有保护玻璃的一端放进观察座的内腔中，并将圆筒外内推，使保护玻璃和观察玻璃贴合，所述的观察窗座一般为圆柱体并密封焊接在真空腔室上，保护玻璃在观察玻璃与真空腔室之间现成了间隔，从而可以有效地保护观察玻璃不被污染，达到减少拆卸观察窗的目的。