[实用新型]晶圆清洗装置有效
| 申请号： | 201420381228.5 | 申请日： | 2014-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN203955646U | 公开（公告）日： | 2014-11-26 |
| 发明（设计）人： | 唐强;马智勇 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/04 | 分类号： | B08B7/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提出了一种晶圆清洗装置，包括：位于清洗腔室内的清洗液提供单元、与晶圆表面接触的清洗刷及与晶圆边缘接触的旋转单元，且旋转单元可改变晶圆的位置。本实用新型在晶圆清洗装置中添加一旋转单元，能够带动晶圆由竖直位置旋转至水平位置，同时带动清洗刷相应的旋转，从而实现对晶圆进行竖直清洗及水平清洗的切换，进行水平清洗时能够节约清洗液，达到降低成本的目的，并且本实用新型还能够满足不同清洗需求。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括：清洗腔室、清洗液提供单元、清洗刷及用以改变晶圆位置的旋转单元，所述清洗液提供单元位于所述清洗腔室内，所述清洗刷与晶圆表面接触，所述旋转单元与所述晶圆边缘接触。
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