[实用新型]一种用于立式真空镀膜装置的进片预抽室有效
| 申请号： | 201420361167.6 | 申请日： | 2014-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN203976907U | 公开（公告）日： | 2014-12-03 |
| 发明（设计）人： | 苏贵方 | 申请（专利权）人： | 肇庆市大力真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 裘晖 |
| 地址： | 526060 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于立式真空镀膜装置的进片预抽室，所述进片预抽室内设有输送机构，所述输送机构包括主动带轮、主动轴、从动带轮、从动轴、输送带、可调节高度的第一安装座和可调节高度的第二安装座，所述主动带轮通过主动轴安装于第一安装座，所述从动带轮通过从动轴安装于第二安装座，所述第一安装座和第二安装座分别固定于进片预抽室的两端；所述输送带的两端分别与主动带轮和从动带轮连接。本实用新型降低了安装难度，且还方便维护，同时，还可缩小进片预抽室的容积，故可缩短对进片预抽室进行抽真空的时间，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 立式 真空镀膜 装置 进片预抽室 | ||
【主权项】：
一种用于立式真空镀膜装置的进片预抽室，所述进片预抽室内设有输送机构，其特征在于：所述输送机构包括主动带轮、主动轴、从动带轮、从动轴、输送带、可调节高度的第一安装座和可调节高度的第二安装座，所述主动带轮通过主动轴安装于第一安装座，所述从动带轮通过从动轴安装于第二安装座，所述第一安装座和第二安装座分别固定于进片预抽室的两端；所述输送带的两端分别与主动带轮和从动带轮连接。
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