[实用新型]一种立式真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201420358294.0 | 申请日： | 2014-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN203976906U | 公开（公告）日： | 2014-12-03 |
| 发明（设计）人： | 苏贵方 | 申请（专利权）人： | 肇庆市大力真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 裘晖 |
| 地址： | 526060 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种立式真空镀膜装置，包括依次连接的进片预抽室、进片缓冲室、镀膜室、出片缓冲室和出片预抽室，所述进片预抽室的两端及出片预抽室的两端均设有第一真空气锁，还包括孪生阀和第一抽气机组，所述进片缓冲室和镀膜室之间设有第二真空气锁，所述镀膜室与出片缓冲室之间设有第三真空气锁，所述孪生阀的第一进气口与进片缓冲室连接，所述孪生阀的第二进气口与出片缓冲室连接，所述孪生阀的出气口与第一抽气机组连接。本实用新型提高了生产效率，而且稳定性好；且降低了设备制造成本，同时还节省了电量的消耗，从而降低生产成本，同时设备的安装和维护方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 立式 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种立式真空镀膜装置，包括依次连接的进片预抽室、进片缓冲室、镀膜室、出片缓冲室和出片预抽室，所述进片预抽室的两端及出片预抽室的两端均设有第一真空气锁，其特征在于：还包括孪生阀和第一抽气机组，所述进片缓冲室和镀膜室之间设有第二真空气锁，所述镀膜室与出片缓冲室之间设有第三真空气锁，所述进片缓冲室和出片缓冲室均通过孪生阀与第一抽气机组连接。
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