[实用新型]一种嵌入装置内部的牵引式分子泵有效
| 申请号： | 201420295833.0 | 申请日： | 2014-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN203906329U | 公开（公告）日： | 2014-10-29 |
| 发明（设计）人： | 刘巍;郭子学;韩莉果;庞志莹 | 申请（专利权）人： | 核工业理化工程研究院 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/64 |
| 代理公司： | 天津市宗欣专利商标代理有限公司 12103 | 代理人： | 胡恩河 |
| 地址： | 300180 *** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种嵌入装置内部的牵引式分子泵，包括内部安装有转子的外壳，内壁形成螺旋抽气槽且与转子同轴的第一级分子泵；与第一级分子泵过盈连接的第三级分子泵上端面形成上环形凸缘，下端面形成多个抽气槽，中间形成中心通孔，中心通孔的内壁形成螺旋抽气槽，第三级分子泵的下部形成圆环形装配槽；与第三级分子泵中装配槽过盈配合的圆环形第二级分子泵下端面形成多个抽气槽，第二级分子泵的边缘形成与螺钉孔相对应的多个凹槽。本实用新型具有加工成本低且易加工安装的特点；且本实用新型利用了转子自身高速旋转的特点，可以在不进一步提高外界抽空能力的条件下使装置内的压强达到10-3Pa的状态。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 嵌入 装置 内部 牵引 分子 | ||
【主权项】：
一种嵌入装置内部的牵引式分子泵，包括内部安装有圆柱型转子（1）的外壳（2），其特征在于：还包括与转子（1）同轴的中空的圆筒状第一级分子泵（3），第一级分子泵（3）处于转子（1）侧立面与外壳（2）内壁之间，第一级分子泵（3）内壁形成螺旋抽气槽（7）；与第一级分子泵（3）过盈连接的第三级分子泵（5）上端面形成上环形凸缘（8），下端面形成多个抽气槽（9），中间形成中心通孔（10），中心通孔（10）的内壁形成螺旋抽气槽（7），第三级分子泵（5）的下部形成圆环形装配槽（11），装配槽（11）上方均布有用于将第三级分子泵（5）与端面法兰（6）连接的多个螺钉孔（12），第三级分子泵（5）外壁形成有下环形凸缘（14）；与第三级分子泵（5）中装配槽（11）过盈配合的圆环形第二级分子泵（4）下端面形成多个抽气槽（9），第二级分子泵（4）的边缘形成与螺钉孔（12）相对应的多个凹槽（13）。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于核工业理化工程研究院，未经核工业理化工程研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201420295833.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种新型前挡风玻璃附件自动粘结装置
- 下一篇：一种夹紧机构
