[实用新型]一种深紫外激光产生与传输装置

摘要

本实用新型公开了一种深紫外激光产生与传输的装置，包括密封腔体、真空系统、深紫外激光产生系统和深紫外激光传输系统；所述深紫外激光产生系统和深紫外激光传输系统均位于所述密封腔体内。本实用新型所公开的深紫外激光产生与传输的装置具有良好的完备性、可行性和小型性，简单可操作性与实用性。

主权项

一种深紫外激光产生与传输装置，所述深紫外激光产生与传输装置包括：密封腔体系统和真空系统，其特征在于，所述深紫外激光产生与传输装置还包括深紫外激光产生系统和深紫外激光传输系统；所述深紫外激光产生系统和深紫外激光传输系统均位于所述密封腔体内； 所述密封腔体系统包括腔体，观察窗口、紫外激光输入窗口、紫外激光输出窗口、气体进口、气体出口和深紫外激光输出窗口； 所述真空系统包括真空产生系统，真空测量系统，和真空填充系统；所述真空填充系统中填充气体为对深紫外波段吸收小的高纯气体,或无填充气体的真空系统； 所述深紫外激光产生系统包括深紫外倍频晶体器件，深紫外倍频晶体角度调节器件； 所述深紫外激光传输系统包括深紫外光学元件及深紫外激光荧光显示元件。