[实用新型]一种深紫外激光产生与传输装置

权利要求书

1.一种深紫外激光产生与传输装置，所述深紫外激光产生与传输装置包括：密封腔体系统和真空系统，其特征在于，所述深紫外激光产生与传输装置还包括深紫外激光产生系统和深紫外激光传输系统；所述深紫外激光产生系统和深紫外激光传输系统均位于所述密封腔体内； 

所述密封腔体系统包括腔体，观察窗口、紫外激光输入窗口、紫外激光输出窗口、气体进口、气体出口和深紫外激光输出窗口； 

所述真空系统包括真空产生系统，真空测量系统，和真空填充系统；所述真空填充系统中填充气体为对深紫外波段吸收小的高纯气体,或无填充气体的真空系统； 

所述深紫外激光产生系统包括深紫外倍频晶体器件，深紫外倍频晶体角度调节器件； 

所述深紫外激光传输系统包括深紫外光学元件及深紫外激光荧光显示元件。 

2.根据权利要求1所述的一种深紫外激光产生与传输装置，其特征在于，所述深紫外激光荧光显示元件是玻璃或荧光粉在深紫外波段有显示功能的材料。 

3.根据权利要求1所述一种深紫外激光产生与传输装置，其特征在于，真空放气小深紫外激光功率计为陶瓷功率计，即功率计的光热感应部分采用石墨，电路底板部分采用放气小的陶瓷材料。 

4.根据权利要求1所述一种深紫外激光产生与传输装置，其特征在于，所述高纯气体为纯度99.9％以上的N₂、He、Ne或Ar在深紫外波段吸收小的气体。 

5.根据权利要求1、2任一项所述的一种深紫外激光产生与传输装置，其特征在于，所述深紫外激光荧光显示元件，为利用所述有显示功能的材料制作的移动元件，所述移动元件在深紫外光路中移动进/ 出深紫外激光光路。 

6.根据权利要求1、2任一项所述装置，其特征在于，所述深紫外激光荧光显示元件，为利用所述有显示功能的材料制作的小孔光阑，所述小孔光阑固定在光路中。 

7.根据权利要求3所述一种深紫外激光产生与传输装置，其特征在于，所述深紫外激光功率计为在真空放气小深紫外激光功率计，所述深紫外激光功率计前端面安装有利用所述深紫外显示元件制作的小孔光阑。 

8.根据权利要求1所述一种深紫外激光产生与传输装置，其特征在于，所述密封腔体为组合腔体，组合腔体为独立腔体或联通腔体，所述深紫外激光产生系统与所述深紫外激光传输系统可以位于所述组合腔体中。 

9.根据权利要求1、2、3、5、6、7、8任一项所述一种深紫外激光产生与传输装置，其特征在于，所述腔体为气密性好的腔体。