[实用新型]一种光学错误注入系统及其平台有效
| 申请号： | 201420288224.2 | 申请日： | 2014-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN203930001U | 公开（公告）日： | 2014-11-05 |
| 发明（设计）人： | 杨坤;谭锐能;潜晟;陈诗平;王宇建 | 申请（专利权）人： | 国民技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 何青瓦 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光学错误注入系统及其平台。该光学错误注入平台包括：载物平台，用于承载待测芯片；光学头，用于对待测芯片进行光学错误注入；第一传动机构，用于与载物平台连接且沿直线轨迹传动载物平台；第二传动机构，用于与光学头连接且沿曲线轨迹传动光学头。本实用新型能够实现了光学头和载物平台两者协调配合移动，减少物理位置盲区，并且提高了光学错误注入的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 错误 注入 系统 及其 平台 | ||
【主权项】：
一种光学错误注入平台，其特征在于，所述光学错误注入平台包括：载物平台，用于承载待测芯片；光学头，用于对所述待测芯片进行光学错误注入；第一传动机构，用于与所述载物平台连接且沿直线轨迹传动所述载物平台；第二传动机构，用于与所述光学头连接且沿曲线轨迹传动所述光学头。
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