[实用新型]新型离子源阳极有效
| 申请号： | 201420284785.5 | 申请日： | 2014-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN203910736U | 公开（公告）日： | 2014-10-29 |
| 发明（设计）人： | 刘锋 | 申请（专利权）人： | 江苏淘镜有限公司 |
| 主分类号： | H01J1/36 | 分类号： | H01J1/36 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 沈志海 |
| 地址： | 212331 江苏省镇*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型离子源阳极，具有阳极基板，阳极基板通过安装部件安装到阳极安装座上，其中在阳极基板中心设置有中心电极，中心电极在阳极基板上突起，并且中心电极与阳极基板之间属于可拆卸配合。采用这种构造的阳极板，离子束仅会刻蚀中心电极，使得在使用一定时间后，仅中心电极损坏，因而只需要更换中心电极，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 离子源 阳极 | ||
【主权项】：
一种新型离子源阳极，具有阳极基板，阳极基板通过安装部件安装到阳极安装座上，其特征在于，在阳极基板中心设置有中心电极，中心电极在阳极基板上突起，并且中心电极与阳极基板之间属于可拆卸配合。
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