[实用新型]一种激光成形切割蓝宝石基片的加工装置

摘要

本实用新型是一种激光成形切割蓝宝石基片的加工装置，加工装置主要包括：保护装置、激光束、透镜组、容器、限制层、悬浮颗粒、进气管，容器所设空腔内装有工作液体；在激光作用下工作液在基材下表面产生沉积层，固液接触面处液体中的悬浮颗粒和上述沉积层结合增强对激光能量的吸收，使得激光焦点附近蓝宝石材料温度达到其熔化和气化温度；并且在激光辐照下，以悬浮颗粒为中心产生大量微小气泡，气泡爆破冲击力冲刷切槽，利于碎屑的排出，两者共同作用最终实现对材料的去除。本实用新型加工中切槽热效应小，加工区域无重凝层，加工质量好，可以实现成形切割。本实用新型操作简单，方便实用，具有较高的加工速率且加工成本极低。

主权项

一种激光成形切割蓝宝石基片的加工装置，其特征在于包括有蓝宝石基片(1)、激光束(2)、聚焦透镜组(3)、保护装置(4)、容器(9)，其中容器(9)设置在工作台上，蓝宝石基片(1)固定在容器(9)上部，并在蓝宝石基片(1)上表面设置一保护装置(4)，在容器(9)的一侧顶部位置固定一进气管(11)和密封口(10)，容器的另一侧为排气口和进液口(5)。