[实用新型]一种激光成形切割蓝宝石基片的加工装置

权利要求书

1.一种激光成形切割蓝宝石基片的加工装置，其特征在于包括有蓝宝石基片(1)、激光束(2)、聚焦透镜组(3)、保护装置(4)、容器(9)，其中容器(9)设置在工作台上，蓝宝石基片(1)固定在容器(9)上部，并在蓝宝石基片(1)上表面设置一保护装置(4)，在容器(9)的一侧顶部位置固定一进气管(11)和密封口(10)，容器的另一侧为排气口和进液口(5)。 

2.根据权利要求1所述的一种激光成形切割蓝宝石基片的加工装置，其特征在于上述的保护装置(4)是对红外激光几乎透明的石英玻璃，固定在蓝宝石基片(1)上表面。 

3.根据权利要求1所述的一种激光成形切割蓝宝石基片的加工装置，其特征在于容器(9)一侧顶部固定一进气管(11)，加工过程中不断通入压缩空气(12)。 

4.根据权利要求1所述的一种激光成形切割蓝宝石基片的加工装置，其特征在于上述的激光束(2)为波长范围780～2526nm、脉宽为大于等于20ns、激光能量密度范围1～200J/cm²、激光频率范围0～100kHz。